- Napęd bezpośredni, konstrukcja bez pasków Konstrukcja silnika bez przekładni i pasów ogranicza luzy i punkty zużycia mechanicznego, zapewniając płynniejszy i bardziej niezawodny ruch transferowy.
- Przystosowany do pracy w próżni Konstrukcja ogranicza emisję cząstek i zapewnia kontrolowane odgazowanie, dzięki czemu płytki półprzewodnikowe przechodzą przez urządzenia próżniowe bez naruszania kontrolowanego środowiska.
- Obsługa wrażliwych podłoży Przenosi płytki półprzewodnikowe między śluzami załadowczymi, komorami transferowymi i modułami procesowymi, takimi jak stanowiska osadzania, trawienia i metrologii.
- Ruch z kontrolą drgań Ruch jest dostrojony tak, aby minimalizować drgania podczas pobierania, odkładania i transportu, chroniąc cenne podłoża (substraty).
- Sterowanie gotowe do integracji Dostarczany ze sterownikiem ruchu i interfejsami I/O, w tym ze zaktualizowanym modułem I/O, do podłączenia blokad na poziomie narzędzia i sygnałów zakładowych.
- Powtarzalny transfer o dużej wydajności Powtarzalna praca efektora końcowego wspiera powtarzalność procesu, wydajność i kontrolę zanieczyszczeń w urządzeniach do obróbki półprzewodników.
Opis
SIASUN Vacuum Robot Phoenix to robot do transferu w próżni dla produkcji półprzewodników i pomieszczeń czystych, zaprojektowany do przenoszenia płytek półprzewodnikowych i innych wrażliwych podłoży między śluzami załadowczymi, komorami transferowymi i modułami procesowymi, takimi jak stanowiska osadzania, trawienia i metrologii, bez naruszania kontrolowanego środowiska. Jego ruch jest dostrojony do stabilnego, płynnego transferu w warunkach próżni, gdzie niska emisja cząstek, kontrolowane odgazowanie i ograniczenie drgań mają kluczowe znaczenie dla ochrony cennych podłoży.
Phoenix wykorzystuje architekturę z napędem bezpośrednim, która ogranicza zależność od przekładni i pasków, zmniejszając luzy i liczbę punktów zużycia mechanicznego, co przekłada się na płynniejszy i bardziej powtarzalny ruch. Dostarczany jako platforma gotowa do integracji, ze sterownikiem ruchu i interfejsami I/O, sprawdza się w produkcji półprzewodników, pomieszczeniach czystych i przemysłowych zastosowaniach transportu w próżni, gdzie liczą się powtarzalność, wydajność i kontrola zanieczyszczeń. Zapraszamy do kontaktu w sprawie szczegółowych danych technicznych, ceny i terminu dostawy.
Funkcje
Dane techniczne
| Marka | SIASUN |
|---|---|
| Model | Robot próżniowy Phoenix (seria PHOENIX B) |
| Typ robota | Próżniowy robot do transferu płytek półprzewodnikowych |
| Architektura napędu | Napęd bezpośredni, bez przekładni i pasków |
| Środowisko | Próżnia / clean room (urządzenia półprzewodnikowe) |
| Manipulacja | Płytki półprzewodnikowe i wrażliwe podłoża przenoszone łopatką efektora |
| Sterowanie i I/O | Sterownik ruchu ze zintegrowanym modułem I/O do podłączania narzędzi |
| Typowe zastosowania | Transfer w narzędziach procesowych do osadzania, trawienia i metrologii w produkcji półprzewodników |
Zastosowania
Najczęściej zadawane pytania
Prosimy o kontakt w sprawie aktualnej ceny, terminu dostawy i indywidualnej oferty na robota próżniowego SIASUN Phoenix.
To robot do transferu w próżni, który przenosi płytki półprzewodnikowe i inne wrażliwe podłoża między śluzami załadowczymi, komorami transferowymi i modułami procesowymi, takimi jak stanowiska osadzania, trawienia i metrologii, bez naruszania kontrolowanego środowiska próżniowego.
Konstrukcja z napędem bezpośrednim, bez przekładni i pasków, eliminuje pośrednie elementy przeniesienia napędu, ograniczając luzy i punkty zużycia mechanicznego oraz zapewniając płynniejszy, bardziej powtarzalny ruch przy precyzyjnym przenoszeniu.
Tak. Phoenix jest dostarczany jako platforma gotowa do integracji ze sterownikiem ruchu i interfejsami I/O, w tym zaktualizowanym modułem I/O, do podłączenia blokad na poziomie narzędzia i sygnałów automatyki fabrycznej. Szczegółowe dane liczbowe podajemy dla każdej konfiguracji.
Tak. Robotix Market zaopatruje firmy na całym świecie, zapewniając fakturowanie i wsparcie posprzedażowe. Prosimy o kontakt w sprawie wyceny.
Ostatnio oglądane
Nie oglądali Państwo jeszcze żadnych produktów.
