- Interfejs EFEM łączy fabryczny transport materiałów z wewnętrznym transferem narzędzia procesowego, zapewniając znormalizowane przekazywanie płytek.
- Konstrukcja zgodna z SEMI System interfejsów przedstawiany jako zgodny ze standardami SEMI w zakresie komunikacji i integracji urządzeń.
- Dwuramienny robot transferowy Robot dwuramienny z osią zewnętrzną zapewnia wydajny transport płytek półprzewodnikowych w części frontowej urządzenia procesowego.
- Kompaktowe wymiary Architektura o niewielkiej powierzchni zabudowy pasuje do ciasnych modułów front-end urządzeń w fabrykach półprzewodników.
- Elastyczna koordynacja transportu Przenosi płytki półprzewodnikowe ręcznie lub we współpracy z transportem fabrycznym, np. systemami podwieszanymi.
- Kontrola zanieczyszczeń Zapewnia powtarzalny transfer płytek półprzewodnikowych przy ograniczonym kontakcie operatora z krytycznymi podłożami.
Opis
SIASUN TSS-3000 to moduł EFEM (Equipment Front End Module) do produkcji półprzewodników, pełniący rolę kontrolowanego interfejsu między systemem transportu materiałów w fabryce półprzewodników a wewnętrznym środowiskiem transferowym urządzenia procesowego. Koordynuje załadunek, wyrównywanie i przekazywanie płytek krzemowych, pomagając utrzymać kontrolę zanieczyszczeń oraz ustandaryzowaną komunikację urządzeń zgodną z SEMI. TSS-3000 o niewielkiej powierzchni zabudowy wykorzystuje dwuramienny robot transferowy z osią zewnętrzną, który przenosi płytki w trybie ręcznym lub w koordynacji z transportem fabrycznym, np. systemami podwieszanymi, zapewniając wydajną i powtarzalną obsługę płytek na wejściu urządzenia. Sprawdza się w pomieszczeniach czystych (cleanroom) fabryk płytek, gdzie wymagane są ustandaryzowane interfejsy i ograniczenie kontaktu operatorów z krytycznymi podłożami. Prosimy o kontakt w sprawie ceny i terminu dostawy.
Funkcje
Dane techniczne
| Marka | SIASUN |
|---|---|
| Model | TSS-3000 |
| Typ robota | EFEM (Equipment Front End Module) / frontowy system transferu płytek krzemowych |
| Interfejs | Interfejs front-end zgodny ze standardem SEMI |
| Robot transferowy | Dwuramienny robot z osią zewnętrzną |
| Zajmowana powierzchnia | Kompaktowy / niewielka podstawa |
| Obsługa | Ręcznie lub w koordynacji z transportem fabrycznym (np. systemami podwieszanymi) |
| Typowe zastosowania | Obsługa płytek krzemowych na początku procesu w fabrykach półprzewodników, ich załadunek, wyrównywanie i przekazywanie |
Zastosowania
Najczęściej zadawane pytania
Prosimy o kontakt — przedstawimy aktualną cenę, termin dostawy i indywidualną ofertę na robota portalowego SIASUN.
To kartezjański robot bramowy do powtarzalnej obsługi materiałów — najczęściej do załadunku i rozładunku obrabiarek CNC, przenoszenia detali między operacjami oraz na liniach automatyzacji procesów w halach produkcyjnych.
Tak. Dzięki dużej przestrzeni roboczej i skalowalnej długości toru jeden robot bramowy może obsługiwać kilka obrabiarek CNC lub stanowisk, co zmniejsza liczbę osobnych urządzeń manipulacyjnych.
Interfejs efektora końcowego przyjmuje chwytaki pneumatyczne lub serwonapędowe, przyssawki podciśnieniowe, chwytaki magnetyczne i zmieniacze narzędzi, dzięki czemu można go skonfigurować do obsługi części, powierzchni płaskich lub ferromagnetycznych i gniazd wielooperacyjnych.
Tak. Robotix Market zaopatruje firmy na całym świecie, zapewniając fakturowanie i wsparcie posprzedażowe. Prosimy o kontakt w sprawie wyceny.
Robot EFEM do obsługi płytek półprzewodnikowych SIASUN TSS-3000
- Cena regularna
- Cena na zapytanie
Ostatnio oglądane
Nie oglądali Państwo jeszcze żadnych produktów.
